scm分析|SCM扫描电容显微镜技术在半导体材料及失效分析中。

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掃描式MOSFET透鏡(Scanning Capacitance Microscopy,英文縮寫SCM)透過智能卡原子力X射線(AFM)列印試映,選用鈹電極,超聲波與及試映的的氨多層逐步形成兩個MIS專電

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